散射条放置方法、介质、产品及设备

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散射条放置方法、介质、产品及设备
申请号:CN202510244322
申请日期:2025-02-28
公开号:CN120163121A
公开日期:2025-06-17
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种散射条放置方法、介质、产品及设备。其中上述方法包括:获取所要操作的目标半导体芯片对应的全局版图数据;将全局版图数据拆分为预设数量的子图,并将预设数量的子图分配至多个处理器;由多个处理器逐步对各自的子图执行散射条放置任务,并在每步执行完成后,对多个处理器的执行结果进行整合,在执行下一步操作时每个处理器在整合后的全局版图数据中读取自身所处理的子图对应的版图数据。通过此方法能够在保证散射条放置速度的前提下,放置和保留更多符合工艺参数的散射条,并且在每步操作执行完成后都整合更新全局版图数据,能够避免子图中的边界信息丢失,从而解决散射条的边界违反掩模制造规则的问题。
技术关键词
版图 处理器 数据 半导体芯片 设计规则检查 掩模 计算机程序产品 种子 计算机设备 可读存储介质 存储器 标识 风险 参数 速度 尺寸
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