摘要
本发明提供了一种多维耦合谐振的半导体激光器,包括:包含有源区的波导层,所述有源区用于产生激光;第一发射结构,设置于所述波导层的下侧,用于将所述激光调制后输出边发射激光;第二发射结构,设置于所述波导层上侧表面,所述第二发射结构用于将所述激光调制后输出面发射激光,所述边发射激光的方向垂直于所述面发射激光的方向。本发明可实现同一激光芯片在平面维度和面外垂直方向维度的耦合谐振,并具有改变输出光斑和调控不同耦合通道输出比例的功能,可用于激光的多维空间信息利用,实现多功能。
技术关键词
半导体激光器
波导
有源区
二维光子晶体
谐振
布拉格光栅
欧姆接触层
超表面
光斑
芯片
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