摘要
本发明提供了一种芯片引脚锡球高度信息的测量方法及相关设备,涉及封装芯片引脚高度测量的技术领域,包括:将预设条纹从多个预设角度投影至封装芯片,得到多个条纹相移图像;根据条纹相移图像确定预设条纹在芯片引脚锡球的第一包裹相位;利用枝切法将第一包裹相位恢复成连续的第一绝对相位图;对于第一绝对相位图中的每个像素坐标点,利用校准块对像素坐标点的绝对相位进行拟合标定,确定芯片引脚锡球的初始相对高度信息;将不同预设角度下的各初始相对高度信息叠加,得到芯片引脚锡球的无遮挡相对高度信息。本发明解决了现有技术中存在的人工逐个测量效率非常低下,且容易出现漏测的情况,无法确保检验质量的问题。
技术关键词
包裹相位
条纹
锡球
测量方法
坐标点
图像采集单元
像素
封装芯片引脚
控制单元
掩膜
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终端设备
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