晶圆的凹槽缺陷检测方法及系统

本发明提供了一种晶圆的凹槽缺陷检测方法及系统，包括：获取标准晶圆凹槽轮廓数据；获取待检测晶圆凹槽轮廓数据；使用优化算法对待检测凹槽轮廓和标准凹槽轮廓进行配准；计算待检测凹槽轮廓和标准凹槽轮廓的点间距离并进行缺陷识别。本发明通过优化算法配准，有效消除测量误差，配合精密计算对凹槽缺陷判定精准至微米级，满足高端芯片制造要求，提高检测精度。