基于动态分布调优的质量控制数据分析方法及系统

本发明公开了基于动态分布调优的质量控制数据分析方法及系统，涉及质量控制技术领域，包括以下步骤：获取晶圆第一数据并构建三维特征矩阵，所述晶圆第一数据包括晶圆表面光学图像、阻抗分布数据和工艺参数数据；基于三维特征矩阵提取小波系数特征建立复合分布模型，对正常样本特征分布进行动态基线建模；根据基线模型分析待评估晶圆的KL散度，并根据KL散度对生产参数调整；获取调整过程中的电路缺陷并构建联合优化函数，基于图神经网络建立缺陷拓扑关系图谱；基于缺陷拓扑关系图谱，构建闭环控制机制，对生产进行反馈优化。本发明通过对实时数据的闭环优化，确保了优化决策的可执行性，提高了生产效率和资源利用率。