一种多节点协同的多层复合薄膜材料制备方法及装置

本发明公开了一种多节点协同的多层复合薄膜材料制备方法及装置，涉及材料制备技术领域，该方法包括：将多层复合薄膜制备工艺流程作为图节点构建工艺图结构，以工艺流程间物理参数联系为边，按时序关系设约束条件并拟合至边中，约束节点到下游节点延迟时间。依时序约束确定工艺顺序，各节点通过边传递上游特征信息并聚合，结合自身特征生成新节点特征，再根据新特征解析获得节点制备参数。解决了现有多层复合薄膜制备中各工艺流程节点独立、缺乏时序约束，降低了制备均匀性、产品质量稳定性的技术问题，通过对多层复合薄膜制备过程的高度协同和精准控制，达到了提高制备均匀性、产品质量稳定性的技术效果。