基于历史数据的智能制造芯片的性能优化方法及装置

本发明涉及一种基于历史数据的智能制造芯片的性能优化方法及装置。该方法：对智能制造芯片制造设备采集的历史加工数据进行数据清洗和时序排序，得到工艺参数时序数据集，并根据生产工艺文档生成工艺语义特征矩阵；基于所述工艺参数时序数据集和所述工艺语义特征矩阵创建工艺参数优化模型；基于所述工艺参数优化模型对实时采集的设备状态数据和质量检测数据进行参数补偿量计算，得到优化后的工艺参数组合；基于所述优化后的工艺参数组合求解最优产能分配方案，并输出工艺参数动态调控指令。本发明在保证工艺参数约束的同时实现了产能的最优分配，提高了生产效率。