摘要
本发明公开了一种三维堆叠芯片及其制作方法。三维堆叠芯片包括衬底、第一存储模块和逻辑模块;第一存储模块和逻辑模块依次堆叠在衬底上,第一存储模块设置在逻辑模块和衬底之间;第一存储模块用于提供和存储逻辑模块所需的数据,支持逻辑模块完成相应的工作。本发明避免了逻辑模块产生的热量对存储模块的影响,显著提升了对逻辑模块的功耗容忍度,而且能够有效减少存储模块堆叠结构中需要设置的导电通路的数量。
技术关键词
三维堆叠芯片
逻辑模块
存储模块
存储结构
堆叠结构
散热模块
衬底
间隔层
导电层
导电结构
螺旋结构
通孔
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功耗
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