一种自动化可控击穿制备固态纳米孔的方法

本发明公开了一种自动化可控击穿制备固态纳米孔的方法，涉及纳米孔加工技术领域，本发明包括步骤S1、预处理与芯片装配，步骤S2、参数初始化，步骤S3、动态电压梯度控制，步骤S4、多参数实时监测，步骤S5、孔径预测与反馈终止，步骤S6、后处理与验证，本发明通过表面功能化处理与智能参数初始化建立击穿基础，采用动态电压梯度算法根据实时电流变化率自适应调节电场强度，同步监测噪声特征识别击穿阶段；结合电荷累积效应与热力学模型动态预测孔径生长，通过多层次终止条件精准控制孔径形成，最终利用电学特性分析和原位校准实现纳米孔参数的验证，该流程融合动态算法与多物理场反馈机制，在保证加工效率的同时提升孔径控制精度与工艺稳定性。