用于OPC建模的方法、设备和存储介质

根据本公开的示例实施例提供了用于OPC建模的方法、设备和存储介质。该方法包括：获取用于光刻的目标光源的多个峰值波长和分别与多个峰值波长相对应的多个累计辐射功率密度；确定分别与多个峰值波长相对应的多个光学信号，多个光学信号中的光学信号指示与波长相关的光学特性；基于多个累计辐射功率密度和多个光学信号，确定多个光学信号的加权平均；以及基于多个光学信号的加权平均，构建光学邻近校正OPC模型。以此方式，可以构建适用于宽频带光源的OPC模型，从而可以补偿采用宽频带光源进行光刻的过程中的光学失真，使最终形成的图形更接近设计要求。