弹性波器件性能样本预处理方法、系统、设备及存储介质

本发明提供了一种弹性波器件性能样本预处理方法、系统、设备及存储介质，所述方法包括：S101、通过测试获取弹性波器件在晶圆上划分的所有器件区域各自的性能参数，所述性能参数为S参数；S102、根据所述弹性波器件的端口结构以及所述性能参数的频点，对所述性能参数进行数学期望计算，得到性能参数矩阵；S103、将所述性能参数对应的所述性能参数矩阵按照所述频点的顺序组合得到参数矩阵集合，并将所述参数矩阵集合输出作为所述弹性波器件的性能样本。本发明能够使得到的性能样本更加贴近真实数据，相较于单个提参片数据处理的方法能够减少由于工厂工艺、测试方法带来的误差，同时也提高了数据的利用率。