一种铝蒸汽腔吸液芯及其制备方法

本发明提供了一种铝蒸汽腔吸液芯及其制备方法，涉及电子芯片散热技术领域。铝蒸汽腔吸液芯的制备方法，在铝基底表面制备多孔MAO陶瓷膜层，显著增加气泡成核位点密度和铝表面耐腐蚀性；通过自组装法在多孔MAO陶瓷膜层表面负载FeCo纳米粒子，增强表面的催化性能；采用化学气相沉积方法在多孔MAO陶瓷膜层表面制备具有垂直取向FeCoCNTs阵列的CNTs涂层，CNTs涂层具有高长径比，小孔隙的优势，增加毛细芯吸作用，促进液体再润湿。在铝基底表面制备了具有FeCoCNTs/MAO复合涂层的铝蒸汽腔吸液芯，复合涂层能发挥MAO层和CNTs涂层的优势，协同增强铝蒸汽腔吸液芯表面的传热效率和沸腾传热稳定性。