一种半导体行业污水处理与再生系统及其方法

本发明公开了一种半导体行业污水处理与再生系统及其方法，本系统包括分质预处理装置、三维电絮凝反应器、智能膜分离机组和EDI深度净化装置；本方法包括如下步骤：动态分质、电化学强化和智能维护。本发明水净化效能提升，氟离子去除率相较于传统去除率大大提升，总氮去除率提升40％，超纯水产水电阻率≥18MΩ·cm，达到SEMIF63标准，并且系统运行稳定性；本发明在运营时成本降低，AI动态调控大大减少药剂消耗量，对于水资源循环回用效果大大提升，以及对重金属的回收率大大提升；本发明符合绿色生产指标，减少污泥产量，臭氧催化技术降低二次污染风险。