一种气体质量流量控制器的参数自校准方法

本发明涉及气体质量流量精密控制技术领域，具体涉及一种气体质量流量控制器的参数自校准方法，包括以下步骤：S1，参数初始化：对参数及参数的概率密度函数进行初始化；S2，参数选择：选择参数值；S3，性能评估：将选择的参数值代入随机环境运行，并评估控制效果；S4，概率密度函数更新：更新参数的概率密度函数；S5，参数优化迭代：循环迭代优化参数值；S6，最佳参数确定：确定最佳参数值；S7，参数应用：将最佳参数值应用于质量流量控制器；本发明，减少了校准所需的人力和时间成本，提升了质量流量控制器的工作效率和精度，同时有效适应了作业现场环境条件变化和设备老化等复杂因素。