扫描控制装置和半导体检测设备

本申请公开了一种扫描控制装置和半导体检测设备，上述扫描控制装置可以包括：第一芯片、控制芯片和存储芯片，控制芯片与第一芯片以及存储芯片均连接；第一芯片用于基于扫描参数生成扫描波形参数；存储芯片用于通过控制芯片接收第一芯片发送的扫描波形参数，并存储扫描波形参数；控制芯片用于接收存储芯片在存储扫描波形参数完成之后发送的第一信号，根据第一信号从存储芯片中获取扫描波形参数，并输出扫描波形参数，扫描波形参数用于指示生成扫描波形，通过第一芯片生成扫描波形参数能提升扫描波形参数的生成效率。