一种微电子磁力检测设备及其方法

本发明公开了一种微电子磁力检测设备及其方法，属于微电子磁力技术领域，包括设备主体、锁定机构、夹持机构和检测机构；所述设备主体的下方与锁定机构连接，设备主体的上方与夹持机构连接，检测机构设置于设备主体的右侧。通过上述方式，本发明通过采用夹持机构和锁定机构实现连续上下料的功能，实现了检测的连续性，并且全程自动化操作，在提升工作效率的同时也实现了操作的稳定性；本发明采用原子磁力计的阵列形式进一步拓展了检测能力，多个原子磁力计组合成阵列后，可以实现多角度的同步检测，同时，通过不同角度的冷却管向芯片的表面吹气冷却降温，防止磁芯在检测过程中温度不均匀，提高了磁力检测的稳定性。