摘要
本申请公开了一种LED芯片及其制备方法,涉及半导体技术领域,该LED芯片在AlmIn(1‑m)P限制层和GaP电流扩展层之间增加过渡层,过渡层包括层叠的第一过渡层和第二过渡层,第一过渡层为GayIn(1‑y)P/ GaAsnP(1‑n)超晶格结构,第二过渡层为GaAszP(1‑z)/ GaP超晶格结构,沿AlmIn(1‑m)P限制层指向GaP电流扩展层的方向,第一过渡层中各GayIn(1‑y)P层的Ga组分逐渐增大,In组分逐渐减小,第二过渡层中各GaAszP(1‑z)层的As组分逐渐减小至0,P组分逐渐增大至1,实现材料和晶格过渡,提高GaP电流扩展层及LED芯片外延结构的晶体质量。
技术关键词
周期结构
电流扩展层
LED芯片
层叠
芯片外延结构
端点
超晶格结构
晶体
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