离子注入机的控制方法、装置、计算机设备及存储介质

本申请涉及一种离子注入机的控制方法、装置、计算机设备及计算机可读存储介质；所述方法包括：获取离子注入机输出的期望束流参数，检测离子注入机当前运行状态的初始状态数据；利用期望束流参数和初始状态数据输入预测神经网络计算初始进气比例调节离子源的各种气体的进气量；在输出束流参数不满足期望束流参数时，计算当前时刻下的状态变化数据，将其与期望束流参数输入修正神经网络计算出下一时刻的离子源的各种气体的进气量修正值，同时计算离子源的各种气体的进气量，并在下一时刻对离子源的进气量进行调节；该技术方案，实现了自动化控制功能，提升了离子注入机输出等离子体束流的效率，提高了控制准确性。