一种阵列式大量程生理内环境力学传感器及制备方法及应用

本申请涉及传感器技术领域，具体公开了一种阵列式大量程生理内环境力学传感器及制备方法及应用。本发明的力学传感器包括依次设置的超薄传感结构、硅胶基底膜；超薄传感结构由硅胶膜和金属镀层叠合构成；金属镀层包括传感区域和导线区域；传感区域相对应的硅胶膜部位开设有V形切口；在V形切口处，传感区域与硅胶膜贴合设置形成V形贴合层，在制备过程中施加应力引导V形贴合层沿远离硅胶基底膜的平面法线方向伸展，形成纤毛传感触突。本申请提供的传感器采用全柔性材料构架，具有三维空间各向异性灵敏度，能通过纤毛传感触突在Z轴方向的偏转构型设计对流体介质的方向与大小进行量化监测，且传感器的保型性良好，可应用于介入式医疗导管等领域。