基于外插算法获取光学镜面检测中缺失面形的方法

本发明公开了一种基于外插算法获取光学镜面检测中缺失面形的方法。其步骤包括：采用可测量区域的面形数据，将完整作用矩阵中对应可测量区域的子矩阵分离出来；利用可测量区域的面形数据和对应的可测量区域分离出来的子矩阵，采用最小二乘法计算调整量，将此调整量与完整作用矩阵中对应的被遮挡区域的镜面面形子矩阵相乘，从而得到被遮挡区域的面形数据，完成对缺失的被遮挡区域的镜面面形数据的外插，得到镜面全口径上的完整面形数据。本发明可解决光学镜面面形测量中因检测系统设备口径限制或因遮挡等因素造成的数据缺失的外插问题。