光学邻近效应校正方法、系统、电子设备及存储介质

本申请提供了一种光学邻近效应校正方法、系统、电子设备及存储介质。该光学邻近效应校正方法包括提供参考结构，对参考结构进行光学邻近效应校正处理，获取特征尺寸不同的多个线端图形的圆角化采集数据；根据多个特征尺寸和圆角化采集数据，构建圆角化预测模型；将目标版图的特征尺寸输入圆角化预测模型，利用圆角化预测模型生成目标版图的圆角化预测数据。该光学邻近效应校正方法能够准确地预测不同特征尺寸的目标版图在光学邻近效应校正后的圆角化程度，为OPC验证提供参考。