一种优化TFT材料制作工艺的方法

本发明涉及TFT材料制作工艺数据处理技术领域，本发明提供的一种优化TFT材料制作工艺的方法，解决TFT材料制作过程中无法有效控制异物和缺陷产生的问题，通过获取TFT材料制作历史数据，利用随机森林模型训练得到设备控制模型，输出优化后的控制参数。在TFT材料制作过程中，采用图像处理模型进行异物和缺陷检测，并根据检测结果对控制参数进行调整，若调整不成功，则通过遗传算法进一步优化控制模型，直至得到合格的TFT材料，本发明有效提高了TFT材料的质量和生产效率，降低了废品率和运营成本，为TFT材料制作行业的技术进步提供了有力支持。