面向纳米尺度的金属尖端智能检测仪及使用和分析方法

本发明提供了面向纳米尺度的金属尖端智能检测仪及其使用和分析方法。所述装置集成高精度成像与定位模块、智能分析模块、智能控制交互模块及自动化执行机构。成像与定位模块由光学显微镜、高分辨率CCD相机和三轴精密载物台组成，支持纳米级形貌特征捕捉和微米级定位精度。智能分析模块可自动提取曲率半径、锥角及表面粗糙度等关键参数。控制交互模块与自动化执行机构耦合可实现检测流程自动化控制与工艺数据远程存储与优化。该装置能够自动完成纳米级金属尖端形貌的检测与智能分析，兼容单纳米孔/孔道制备、扫描探针针尖形貌表征及纳米器件检测等应用场景，在保持高精度检测的同时显著提升作业效率。