基于纳秒激光刻蚀微槽减阻模拟的多物理场耦合建模方法

本发明公开了基于纳秒激光刻蚀微槽减阻模拟的多物理场耦合建模方法，涉及激光加工技术领域，用于解决激光刻蚀过程中微槽减阻效果的优化问题；该方法通过建立热传递、流体动力学、材料去除等多个物理场的耦合模型，模拟激光刻蚀过程中微槽的减阻效果。具体而言，采用自适应网格技术对刻蚀过程中的温度场、流场进行精确计算，同时引入脉冲激光等效处理方法对不同扫描次数和激光功率的影响进行建模，优化刻蚀工艺参数。该方法能够高效预测不同参数下的减阻效果，为微槽设计和激光刻蚀工艺优化提供理论依据，具有广泛的应用前景。