一种新型贴蓝膜GPP芯片及制备方法

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一种新型贴蓝膜GPP芯片及制备方法
申请号:CN202510327703
申请日期:2025-03-19
公开号:CN120109074A
公开日期:2025-06-06
类型:发明专利
摘要
本发明属于半导体制造技术领域,提供了一种新型贴蓝膜GPP芯片及制备方法。其中制备方法包括:S1.对完成镀金属工艺的硅片进行晶粒测试,分选出良品和不良品,并在不良品的晶粒上打上墨点,之后烘烤;S2.从硅片的背面进行激光切割以形成激光沟槽,切割的同时吸去粉尘;S3.在S2所得制品的背面贴附蓝膜,并且在蓝膜上设置铁环,蓝膜的宽度大于硅片的直径,铁环的内缘和硅片的外缘之间有间距;S4.采用胶辊在S3所得制品的正面进行辊压,使激光沟槽之间的预留量处裂开以分离晶粒;S5.采用显微镜对S4所得制品进行整片外观检验,将外观不良的晶粒使用记号笔做上记号。本发明可提高晶粒的稳定性,避免边角碰撞导致品质不稳定的问题。
技术关键词
硅片 全自动激光切割机 铁环 制品 记号笔 不良品 刻蚀沟槽 胶辊 显微镜 芯片 间距 粉尘 缓冲层 正面 半导体 滤纸 油墨
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