摘要
本发明属于半导体制造技术领域,提供了一种新型贴蓝膜GPP芯片及制备方法。其中制备方法包括:S1.对完成镀金属工艺的硅片进行晶粒测试,分选出良品和不良品,并在不良品的晶粒上打上墨点,之后烘烤;S2.从硅片的背面进行激光切割以形成激光沟槽,切割的同时吸去粉尘;S3.在S2所得制品的背面贴附蓝膜,并且在蓝膜上设置铁环,蓝膜的宽度大于硅片的直径,铁环的内缘和硅片的外缘之间有间距;S4.采用胶辊在S3所得制品的正面进行辊压,使激光沟槽之间的预留量处裂开以分离晶粒;S5.采用显微镜对S4所得制品进行整片外观检验,将外观不良的晶粒使用记号笔做上记号。本发明可提高晶粒的稳定性,避免边角碰撞导致品质不稳定的问题。
技术关键词
硅片
全自动激光切割机
铁环
制品
记号笔
不良品
刻蚀沟槽
胶辊
显微镜
芯片
间距
粉尘
缓冲层
正面
半导体
滤纸
油墨
系统为您推荐了相关专利信息
女贞子
指纹图谱技术
超高效液相色谱
模式识别模型
制品
执行设备
厚度传感器
滚动元件
人工智能模型
暂存机构
生物制品
特征值集合
失效检测方法
密封材料
检测平台