全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置

本发明公开了全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置，涉及芯片外观及芯片模块检测技术领域，本发明通过将第一线激光扫描仪、第一CCD相机、第二线激光扫描仪、第二CCD相机和第三CCD相机设置在第二输送机构的输送路径上，使得众多检测装置集成在同一机台上，有利于降低用工成本和机台总占用空间，配合流水线式的作业模式对芯片进行检测，使得芯片无需在各个装置之间频繁转运，有利于降低转运过程中的二次不良，并使得芯片检测过程中输送稳定，同时，通过将横直的第一输送机构连接在第二输送机构的进出料位置，使得取空的Tray盘可以快速被再次使用，不易造成Tray盘的大量闲置，有利于降低运行管理的成本，并可以在一定程度上提升检测效率。