光罩图像CD量测方法、测量装置及可读存储介质

本申请提供了一种光罩图像CD量测方法、测量装置及可读存储介质，其中，方法包括：获取待测光罩的多个原始图像及标准图像，标准图像具有待测光罩的光罩特征，确定各原始图像的目标清晰度以及标准图像的目标清晰度，根据各原始图像的目标清晰度以及标准图像的目标清晰度确定待量测图像，对各待量测图像进行CD量测，得到光罩图像的量测结果。本申请通过具有光罩特性的标准图像对原始图像进行筛选，从而提高筛选准确性，并提高测试效率，降低时间成本。