基于半凝固体的半导体产品除尘方法及除尘系统

本发明公开了基于半凝固体的半导体产品除尘方法及除尘系统，其中方法包括对实时采集待除尘的半导体产品的表面图像进行差异区域化处理，得到灰尘凝聚图像；差异区域化处理被设计为将表面图像中的离群像素点的差异进行扩散，以将离散分布的点状灰尘合并为区域；对灰尘凝聚图像进行图像分割，得到待识别区域；根据表面图像中每个待识别区域的灰度分布特征和轮廓特征获取灰尘区域；基于除尘棒的使用时长、每个灰尘区域的尺寸特征和对应的灰度渐变特征动态确定每个灰尘区域的除尘策略；控制和除尘棒相匹配的功能部件对每个灰尘区域执行对应的除尘策略，提高了对半导体器件的除尘效果。