摘要
本申请实施例涉及一种光电集成芯片和光互连结构。光电集成芯片,包括:第一电芯片,用于提供驱动信号;第一连接层,设于第一电芯片的一侧,并与第一电芯片电连接,用于传输驱动信号;VCSEL阵列,设于第一连接层远离第一电芯片的一侧,并与第一连接层电连接,用于在驱动信号的作用下发光;其中,VCSEL阵列的光出射方向平行于第一电芯片、第一连接层和VCSEL阵列的堆叠方向。
技术关键词
VCSEL阵列
光电集成芯片
光路调节单元
互连结构
光电探测阵列
光发射模块
凸透镜
驱动信号
重布线层
平面镜
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