一种晶圆缺陷模式的识别方法及装置

本发明实施例提供了一种晶圆缺陷模式的识别方法及装置，该方法包括对待识别晶圆的晶圆图进行点云转换，获得所述待识别晶圆的原始点云集合；对所述原始点云集合中各点云进行归一化处理，获得归一化后的目标点云集合；根据所述目标点云集合，构建所述待识别晶圆的点云特征图；根据所述点云特征图和预构建的分类网络模型，确定所述待识别晶圆的缺陷模式识别结果。利用该方法，基于点云的归一化方式从根本上保留了晶圆图的原始信息和几何特性，同时解决了图像统一大小过程中信息丢失或引入虚假信息的问题，更适合多尺寸晶圆图的缺陷模式识别任务。相较于传统的图像归一化方法，能够提供更稳定、真实的特征表示，提高了晶圆缺陷模式识别的精度。