摘要
本发明涉及半导体技术领域,公开了一种电磁屏蔽结构及其封装方法,包括:设置在基板上的金属隔离层,基板上至少设有两个芯片主体,芯片主体的至少一侧设有金属隔离层;金属隔离层上设有支撑体,金属隔离层通过支撑体抵抗封装过程中封装材料的流动冲击。在进行封装之前,通过支撑体将金属隔离层进行预先固定,在封装时利用支撑体抵抗封装材料的流动冲击,使金属隔离层的厚度减小,减小占用空间;支撑体的基体材料与封装材料相同,并在此基础上添加绝缘且增加强度的材料,在进行封装时,对金属隔离层形成较好的支撑作用,抵抗冲击力,防止金属隔离层发生变形,还能与封装材料更好的融合,保证封装质量和屏蔽效果。
技术关键词
电磁屏蔽结构
封装材料
玻璃纤维
封装方法
封装体
基板
注塑工艺
响应面模型
金属板
柱体
芯片
相变材料
参数
压力
变量
基体
绝缘
界面
强度
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