一种抗过载惯性测量单元及其封装方法

本发明提供一种抗过载惯性测量单元及其封装方法，涉及MEMS封装技术领域。该惯性测量单元包括：壳体内水平设置相互隔离的第一腔和第二腔；第一腔内设有刚性载体和多个弹性减震垫；各弹性减震垫环绕刚性载体，设置在刚性载体与第一腔的侧壁之间；刚性载体的纵截面为开口朝向壳盖的凹形；MEMS芯片和数字电路柔性电连接；MEMS芯片采用灌封胶灌封在刚性载体的凹形开口内；数字电路采用灌封胶灌封在第二腔的底部；弹性减震垫的硬度小于灌封胶的硬度。本发明通过对MEMS惯性测量器件进行划分，仅对体积小、冲击敏感的MEMS芯片采用弹性减震垫和刚性载体结合的抗过载设计，在实现高抗过载的同时减小惯性测量单元体积。