基于动态机理模型参数演化的关键工艺指标软测量方法

本发明涉及工业过程关键指标监测技术领域，具体公开了基于动态机理模型参数演化的关键工艺指标软测量方法，本发明通过建立基于机理模型和GraphTrans模型的嵌入式混合模型，通过GraphTrans模型估计机理模型的参数，保证了嵌入式混合模型的精度，同时，通过机理模型为GraphTrans模型所输出的动态的机理模型参数提供特定的物理意义，通过嵌入式混合模型完成对工业过程关键指标的预测，解决了传统的引入有综合状态空间的软测量方法，在加权和的计算过程，静态参数和动态特性间的冲突会制约集成机理模型的应用效果的问题。