一种晶圆盘芯片点墨标记设备及方法

本发明涉及点墨标记技术领域，公开了一种晶圆盘芯片点墨标记设备及方法，包括PLC控制器及执行机构，所述PLC控制器控制执行机构完成对晶圆盘芯片的点墨标记，所述执行机构包括晶圆盘放置板、点胶机机架、夹紧单元及识别单元，所述晶圆盘放置板设置在点胶机机架上，所述夹紧单元及识别单元均设置在晶圆盘放置板上方。本发明提供的晶圆盘芯片点墨标记方法能够自动根据Mapping图对晶圆盘上的边缘芯片和不良芯片进行点墨标记，并结合相机检测到的晶圆盘偏心量和角度偏斜进行坐标补偿，精确计算出需点墨的芯片位置，再根据上位机控制PLC控制器控制晶圆盘芯片点墨标记设备完成点墨操作，实现自动化点墨，减少人工干预，提高产品质量。