一种基于改进的YOLOv10模型的芯片表面缺陷检测方法、系统、设备以及介质

本发明涉及一种基于改进的YOLOv10模型的芯片表面缺陷检测方法、系统、设备以及介质，其方法包括：构建层级检测模型；将芯片表面图像输入至特征提取网络得到初始特征图；在特征融合网络的预定节点嵌入坐标注意力模块，对初始特征图进行正交方向卷积编码生成空间注意力权重，通过加权融合输出增强特征图；在特征提取网络的中间层构建中心点预测分支，基于初始特征图并行输出缺陷热力图、尺寸参数及类别概率分布；将增强特征图输入检测头，结合缺陷热力图进行空间对齐处理生成初步检测框，经冗余抑制处理后生成检测结果。本发明通过引入坐标注意力模块与中心点预测分支对YOLOv10模型进行协同改进，解决了芯片表面缺陷识别中的痛点。