一种VCSEL激光器及其制备方法

本发明公开了一种VCSEL激光器及其制备方法，制备方法包括提供柔性基板及安装底座，安装底座包括安装槽，安装槽包括垂直于第一方向的安装底面和相对于安装底面倾斜设置的安装侧面，柔性基板上焊接有间隔设置的多个VCSEL芯片；将柔性基板贴合于安装底座上，并使柔性基板与安装底面及安装侧面相贴合，令安装底面及安装侧面上均通过柔性基板贴装有VCSEL芯片；在安装槽的槽口安装折射镜，折射镜对应安装侧面的VCSEL芯片设置，用于令安装侧面的VCSEL芯片的激光折射至第一方向。通过提供预装多个VCSEL芯片的柔性基板，保障VCSEL芯片与安装槽的安装精度，同时通过使柔性基板与安装底面及安装侧面相贴合，令安装底面及安装侧面上均通过柔性基板贴装有VCSEL芯片，提升了安装密度。