一种基于超构表面的极紫外波段半波片及四分之一波片器件的设计方法

本发明公开了一种基于超构表面的极紫外波段半波片及四分之一波片器件的设计方法，包括：设计超表面的结构；计算超表面中纳米孔单元在不同偏振自由空间输入光源下的共振相位响应分布及透过率分布；根据半波片与四分之一波片的功能需求，分别设定π和的相位差条件；结合共振相位响应分布及透过率分布数据通过算法筛选索引满足相位条件的纳米孔长、宽几何参数，综合选择透射率较高的结构，进行周期排布，完成超表面波片器件设计。本发明能够解决极紫外波段材料折射率骤降导致的相位调控失效及传统波片体积大、波段受限等问题，并提供一种新的超表面结构，通过氮化硅和钼及贯穿其中的纳米孔结构实现对极紫外波段光源的偏振调制。