集成化弯月面追踪液体微小流量检校装置及其使用方法

本发明涉及微小流量检校技术领域，尤其涉及一种集成化弯月面追踪液体微小流量检校装置及其使用方法，包括弯月面追踪流量检校芯片、恒温器和弯月面追踪装置，弯月面追踪流量检校芯片，包括玻璃基底和键合在其表面的PDMS通道，所述玻璃基底贴合在恒温器上，所述恒温器用于保证所述弯月面芯片温度的恒定，弯月面追踪装置，包括线性运动单元和图像采集模块，所述线性运动单元位于所述弯月面芯片下方，用于追踪所述弯月面追踪流量检校芯片中的弯月面，所述图像采集模块安装在所述线性运动单元上，用于监测弯月面，本发明解决了液体微小流量传感器、微量注射泵的检定与校准难题，实现液体微小流量的量值溯源。