一种基于线扫描的高斯光斑实时检测系统及方法

本发明公开了一种基于线扫描的高斯光斑实时检测系统及方法，包括电动位移台、光源组件、半透半反镜、光电转换模块、数据接口模块以及信号处理模块；其中，电动位移台，其上面安装有掩模板，掩模板上布置有多斜率线条；光源组件用于提供高斯光束；电动位移台被配置为用于驱动掩模板按照预定路径移动，以使高斯光斑逐个照射于多斜率线条上并形成相应的高斯光斑；半透半反镜用于将由高斯光斑在多斜率线条上产生的反射光反射至光电转换模块；光电转换模块用于接收反射光信号并转换为脉冲信号；数据接口模块用于采集脉冲信号并传递至信号处理模块；信号处理模块用于基于脉冲信号测量高斯光斑的尺寸和形状。本发明能够用于较为精准的测量高斯光斑的尺寸。