搬运机器人

构成搬运机器人的第一基板保持装置(2)具备：具有载置基板(W)的手叉(31)的手(3)；用于把持载置在手上的基板的把持机构(5)；装设手及把持机构的基座部件(6)；以及用于将手安装于基座部件的安装部件(7)。把持机构具备用于与基板抵接而把持基板的把持部(51)。手具备：连接部件(32)，其固定手叉并具有保持把持部的保持部(323)；以及连接机构(33)，其将连接部件和安装部件连接。连接机构具备：主体部(36)，其在Z轴方向上与连接部件重叠并固定于安装部件；固定螺钉(37)，其将连接部件固定于主体部；以及多个调节螺钉(38)和多个螺纹孔(320)，其经由连接部件调节手叉相对于主体部的倾斜度。