一种双界面栅氧结构器件的NBTI效应仿真方法及装置

本发明公开了一种双界面栅氧结构器件的NBTI效应仿真方法及装置，方法包括：基于双界面栅氧结构器件的三维模型构建NBTI仿真模型，通过模拟NBTI效应中界面陷阱、体陷阱和氧化层预存空穴陷阱的产生及恢复过程，得到不同陷阱诱导的阈值电压退化分量；在此基础上进行NBTI效应退化阶段模拟仿真，以提取双界面栅氧结构器件的第一电学参数变化情况，得到第一阈值电压退化分量和第一转移特性曲线；基于经NBTI退化模拟后的器件状态，进行NBTI效应恢复阶段模拟仿真，以提取双界面栅氧结构器件的第二电学参数变化情况，得到第二阈值电压退化分量和第二转移特性曲线，从而准确反映了NBTI效应的复杂性。