异质集成型带有瞬态电压防护的滤波器结构及制造方法

本发明提供一种异质集成型带有瞬态电压防护的滤波器结构及制造方法，本发明滤波器结构包括绝缘基板，所述绝缘基板上表面设有一安装槽，安装槽内设有一具有瞬态电压防护功能的半导体芯片，所述绝缘基板上表面设有双层螺旋电感，所述双层螺旋电感包括层叠设置的第一平面电感线圈和第二平面电感线圈，所述半导体芯片与第一平面电感线圈之间设有第一钝化层，第一平面电感线圈与第二平面电感线圈之间设有第二钝化层，所述第二平面电感线圈上表面设有第三钝化层，所述第一钝化层和第二钝化层均设有用于上下层电性连接的通孔，所述第三钝化层上设有滤波器引脚，所述滤波器引脚与所述第二平面电感线圈电性连接。本发明能够改善滤波器的差模带宽指标。