TOPCon电池的制备方法

本发明涉及一种TOPCon电池的制备方法，属于太阳能电池制造技术领域。包括：双面碱制绒；制绒后硅片进行硼扩散工艺；硼扩散工艺中，通源后的反应温度为825‑845℃，推进的温度为860‑890℃，推进结束后补硼；进行SE制备；硅片进行高温氧化，去除富硼层，并生长BSG；氧化后硅片经过去BSG‑碱抛；进入PE‑poly工艺进行原位磷掺杂；硅片经过退火工艺晶化；去PSG‑RCA工艺。通过在硼扩散工艺中优化通源步、推进步的反应温度以及增加补硼操作，可以提高SE掺杂区域的浓度，并保证非SE区域的掺杂浓度整体变化不大，以此来提高电池的转换效率。