TOPCon电池的硼扩散方法

本发明涉及一种TOPCon电池的硼扩散方法，属于太阳能电池制造技术领域。包括：进舟、预热并抽真空；检漏；升温；稳温；前氧化；一步通源；升温；二步通源；吹扫升温；推进；降温；回压；开炉管；冷却结束后，自动化机器人进行卸片，同步采用四探针方阻测试仪测试不同位置硅片的方阻数据。本发明能够使反应气均匀分布于硅片的中间流道内，形成均匀扩散，可以有效解决硼扩散工艺过程中反应气扩散不均匀的问题，提高了硼扩散方阻均匀性，从而提高了电池效率。