应用于电子束曝光系统的任务执行方法、装置及存储介质

本申请提供的应用于电子束曝光系统的任务执行方法、装置及存储介质，当检测到实验用户发送的实验请求时，电子束曝光系统可以调用EBL实验机器人根据实验用户输入的实验名称获取对应的流程文件，以及根据实验用户输入的参数信息确定前置参数后，自动执行实验流程；并且，在EBL实验机器人执行实验流程的过程中，还可以根据实验流程的需求与实验用户进行交互，并根据交互结果进行前置参数校准和更正后继续执行实验流程，或根据交互结果取消实验流程。该过程中，EBL机器人能够模拟熟练操作员的动作，自动完成诸如流程设定、参数初步设定这类重复性流程，进而大幅度节省前期准备时间，并为电子束曝光系统的高效应用注入全新活力。