一种基于多特征图案协同定位的晶粒图像截取对齐方法

本发明涉及一种基于多特征图案协同定位的晶粒图像截取对齐方法，包括：将检测相机与晶圆上的标准晶粒对准并拍摄，在检测相机拍摄的图像中确定标准晶粒图像，在标准晶粒图像上选取特征图案，将特征图案保存至图像识别模板；确定每种特征图案的中心坐标与标准晶粒图像的起始点坐标的位置差距参数；全局扫描通过图像识别模板进行识别；确定待截取的晶粒图像的起始点坐标；根据起始点坐标和标准晶粒图像的图像参数，在检测相机拍摄的每张图像中截取晶粒图像；通过仿射变换将晶粒图像与标准晶粒图像进行对齐。本发明能够抑制全局误差，实现高精度定位，增强鲁棒性与容错能力。