多工位晶棒质检设备、系统及质检方法

本申请公开一种多工位晶棒质检设备、系统及质检方法，多工位晶棒质检设备包括：基座，包括质检台和邻接于质检台的移送台；晶棒录入装置，设置于质检台的上料区位，用于读取待质检的贴附有标签的晶棒的标签信息；第一质检装置，设置于质检台的第一质检区位，用于对晶棒进行第一质检作业；第二质检装置，设置于质检台的第二质检区位，用于对晶棒进行第二质检作业；缺陷标记装置，设置于质检台的下料区位，用于基于缺陷标记指令对所述晶棒进行缺陷标记；晶棒转运装置，设置于移送台上，用于将晶棒在上料区位、第一质检区位、第二质检区位、以及下料区位之间转换。