一种基于囊状结构电极的电容式触觉传感器及其制备方法

本发明提出一种基于囊状结构电极的电容式触觉传感器及其制备方法，包括自上而下设置的顶层、上电极层、介电层、下电极层，还包括设于侧面处的封装层；所述上电极层为具有向下凸出的囊状结构的柔性电极；所述介电层为置于上电极层与下电极层之间的电介质薄膜；介电层的上表面与上电极层的囊状结构凸起接触，下表面与下电极层接触；当传感器受力时，上电极层的囊状结构凸起（7）发生压缩，使上电极层与介电层的有效接触面积发生变化，进而使传感器电容值发生变化形成与传感器受力相关的信号；本发明具有囊状结构柔性电极，其在为传感器提供宽量程的同时能够兼具高线性度与高灵敏度，且所述传感器制备方法成本较低、工艺简单、易实现。