一种混合集成中红外锁模量子级联激光器

本发明公开一种混合集成中红外锁模量子级联激光器，包括第一芯片、第二芯片和基板热沉，所述第一芯片和第二芯片混合集成于所述基板热沉上，所述第一芯片与所述第二芯片耦合工作；所述第一芯片包含增益区和调制区，所述增益区被配置为在直流电驱动下以第一芯片的两端端面作为谐振腔，产生大功率中红外激光，所述调制区被配置为在射频驱动下对激光器的增益进行调制，产生主动锁模效果；所述第二芯片包含高Q腔，所述高Q腔的模式频率间隔与所述第一芯片的模式频率间隔一致。本发明能够提高主动锁模量子级联激光器的锁模稳定性，压缩脉冲宽度，具有集成度高、光谱覆盖范围宽的优点。