电极、其制造方法及包括其的功率半导体器件

一种用于功率半导体器件的电极、其制造方法及功率半导体器件。电极包括电极主体和盖板；电极主体设有间隔开的多个盲孔，盲孔的开口端位于电极主体的上表面，每个盲孔内设有一个毛细微管，并且盲孔内容纳有冷却介质；盖板设置在电极主体的上表面上，以密封地覆盖盲孔。通过用于功率半导体器件的电极、其制造方法及功率半导体器件，实现提高器件电极的传热效率，降低器件结壳热阻，使得器件工作时芯片结温更低，提升器件额定通流能力的目的。